Пвд пленка: Пленка полиэтиленовая (ПВД, ПНД, БОПП, КАСТ, ПВХ, ВПП, ПОФ и др.) от Компании Тарра

Как отличить пвд от пнд?

Как отличить пвд от пнд? — Shiko

Производство полимерной продукции в Волгограде

Как отличить пвд от пнд?

Все чаще высокие технологии вмешиваются в самые обычные стороны  жизни людей: мы не помним уже, как жить без привычного для нас  упаковочного материала – он облегчает хранение, перевозку, упаковку товаров. Пленка ПВД (пленка высокого давления) и ПНД  (пленка низкого давления) — продукты современных технологических процессов.

Эти материалы создают условия для качественного хранения, а также бережной и надежной перевозки. Они предназначены для упаковки и транспортировки пищевых продуктов, а также для хранения и транспортировки самых различных товаров и продукции.

Отличительные особенности пленки ПВД

Химический состав пленки ПВД позволяет применять ее для хранения практически любой промышленной и пищевой продукции. Она имеет ряд полезных характеристик, к которым можно отнести:

• хорошую плотность;
• стойкость к химическим воздействиям;
• отличные показатели водонепроницаемости;
• привлекательную стоимость и доступность;
• прозрачность;
• удобство хранения;
• возможность вторичной переработки;
• эластичность;
• широкую универсальность.

ПВД-пленка может быть использована в быту и на промышленном производстве, в различных сферах сельскохозяйственной и технической промышленности в качестве упаковки выпускаемой продукции.

Технические характеристики и методика производства

ПВД или полиэтилен высокого давления производится методом полимеризации газов при высоком давлении с последующим растяжением. Этот полимер, выпускаемый под большим давлением и при высокой температуре, являет собой продукт с высокой химической стойкостью.

Хотя обычно конечный продукт выпускается в белом или прозрачном цвете, также возможен выпуск пленки с применением различных красителей, а также с нанесением логотипов, рекламных слоганов, названий брендов. К примеру, пакеты или мешки, сделанные из пленки ПВД, могут выдерживать до 25 килограммов веса.

Пленка ПНД и ее характеристики

Пленка ПНД или пленка низкого давления производится методом экструзии. Она выпускается в различных цветовых вариациях и отлично подходит для нанесения рисунков методом глубокой печати. Этот вид пленки используется, в том числе, для производства мягких кровельных материалов, а также в качестве упаковочного материала для пищевых продуктов.

Продукцию из ПНД отличает высокая стойкость к различным агрессивным средам, а также химическая прочность. К примеру, пакеты из этого вида пленки имеют малую толщину и прочны. Это делает их универсальными и практичными. Так, наиболее часто используемой и часто встречаемой продукцией из ПНД являются пакеты-майки, которые используют большие магазины и супермаркеты.

Основные отличия пленки ПНД от ПВД

Если вы раздумываете и пытаетесь определить лучший вариант для производства продукции с вашим логотипом, то вам непременно следует разобраться, как отличить полиэтилен высокого давления (ПВД) от ПНД. Для того, чтобы проанализировать преимущества ПВД и ПНД, отличия которых могут стать значимым фактором вашего выбора, нужно понимать их основные преимущества и разницу.

Из ПВД-пленки чаще всего делают пакеты с вырубными и петлевыми ручками. За счет глянцевого блеска эти пакеты выглядят более привлекательно и ярко, а значит, более подходят для наружной рекламы и производства фирменной продукции с логотипами. Такие пакеты не боятся острых углов и режущих предметов внутри. Такой материал, как ПВД эластичен, продукция из него отличается блеском.

Из пленки ПНД делают так называемые пакеты майки. Они более тонкие, при этом не менее прочные. Материал выглядит матовым, а сами пакеты практически не тянутся, но любой прокол может спровоцировать надрез и разрыв пакета по прямой линии. Такая продукция более дешевая и не предназначена для переноски грузов с большим весом.

Одинаково, пакеты из ПНД и ПВД, разница которых была описана выше, могут быть использованы для производства рекламной продукции. Но каждый из них имеет свои особенности и преимущества. Чтобы понять, какой материал перед Вами — ПВД или ПНД, достаточно определить плотность материала: для этого достаточно будет пощупать его.

Какой материал выбрать?

Пленки ПВД и ПНД, отличия которых заметны для знающего человека, прекрасно подходят для использования в самых различных целях. Необходимо лишь учитывать их физические и химические характеристики.

Наша фирма имеет опыт более 20 лет в области изготовления и реализации полимерной продукции и более 50 довольных клиентов в разных регионах России!

Мы профессионально проанализируем Ваши требования к продукции и предоставим именно то, что нужно для реализации Ваших целей. Обращаясь к нам, Вы получаете гарантированно качественнее продукты и приемлемые цены.

Узнать минимальные объемы и оптовые цены

С соглашением о персональных данных ознакомлен и согласен

x

Соглашение об обработке персональных данных

Настоящим Соглашением (согласием) Посетитель Сайта/Пользователь/Заказчик, во исполнение требований Федерального закона от 27.07.2006 г. № 152-ФЗ «О персональных данных» (с изменениями и дополнениями) свободно, своей волей и в своем интересе дает свое согласие на обработку своих персональных данных, указанных при регистрации и/или оставлении заявки сайте http://shiko34. ru и его поддоменов (далее – «Сайт»), направляемой (заполненной) с использованием Сайта.

Под персональными данными понимается любая информация, относящаяся к Посетителю Сайта/Пользователю/Заказчику как к субъекту персональных данных, в том числе, но не ограничиваясь: фамилия, имя, отчество, контактные данные (номер домашнего, мобильного, рабочего телефонов) адрес электронной почты, а также иные данные о Посетителе Сайта/Пользователе/Заказчике, которые станут известны в ходе исполнения соглашений, а также иная общедоступная информация о Посетителе Сайта/Пользователе/Заказчике/.

Персональные данные Пользователя/Заказчика обрабатываются в соответствии с Федеральным законом от 27.07.2006 г. № 152-ФЗ «О персональных данных»

Предоставляя свои персональные данные Оператору, Посетитель Сайта/Пользователь/Заказчик соглашается на их обработку Оператором, в том числе в целях выполнения Оператором обязательств, включая, но не ограничиваясь, консультационные услуги, контроля удовлетворенности Посетителя Сайта/Пользователя/Заказчика, а также качества услуг, оказываемых Оператором.

Под обработкой персональных данных понимается любое действие (операция) или совокупность действий (операций), совершаемых с использованием средств автоматизации или без использования таких средств с персональными данными, включая сбор, запись, систематизацию, накопление, хранение, уточнение (обновление, изменение) извлечение, использование, передачу (в том числе передачу третьим лицам, не исключая трансграничную передачу, если необходимость в ней возникла в ходе исполнения обязательств), обезличивание, блокирование, удаление, уничтожение персональных данных.

Оператор имеет право отправлять информационные сообщения на электронную почту и мобильный телефон Посетителя Сайта/Пользователя/Заказчика с его согласия, выраженного посредством совершения им действий, однозначно идентифицирующих этого абонента и позволяющих достоверно установить его волеизъявление на получение сообщения.

Посетитель Сайта/Пользователь/Заказчик вправе отказаться от получения информации без объяснения причин отказа путем информирования Оператора о своем отказе по телефону 8 (8442) 56-14-06 либо посредством направления соответствующего заявления на электронный адрес sale@shiko34. ru

Посетитель Сайта/Пользователь/Заказчик вправе в любой момент отозвать согласие и расторгнуть настоящее соглашение на обработку персональных данных и расторгнуть настоящее соглашение. Указанное Соглашение (согласие) действует бессрочно с момента предоставления данных и может быть отозвано Посетителем Сайта/Пользователем/Заказчиком путем подачи заявления Оператору с указанием данных, определенных ст. 14 Закона «О персональных данных». В случае отзыва согласия на обработку своих персональных данных Оператор обязуется удалить персональные данные Посетителя Сайта/Пользователя/Заказчика в срок не позднее 3 рабочих дней.

Оператор вправе использовать технологию «cookies». «Cookies» не содержат конфиденциальную информацию. Посетитель Сайта/Пользователь/Заказчик настоящим дает согласие на сбор, анализ и использование cookies, в том числе третьими лицами для целей формирования статистики и оптимизации сообщений.

Оператор получает информацию об ip-адресе посетителя сайта http://shiko34. ru и его поддоменов

Данная информация не используется для установления личности посетителя.

Оператор не несет ответственности за сведения, предоставленные Посетителем Сайта/Пользователем/Заказчиком/ на Сайте в общедоступной форме.

Настоящим Соглашением (согласием) Посетитель Сайта/Пользователь/Заказчик подтверждает, что является субъектом предоставляемых персональных данных, а также подтверждает достоверность предоставляемых данных.

Посетитель Сайта/Пользователь/Заказчик осознает, что регистрация и/или оформление заявки на получение предложения, означает его письменное согласие с условиями, описанными в настоящем Согласии (Соглашении).

Политика конфиденциальности

Ваша конфиденциальность очень важна для нас. Мы хотим, чтобы Ваша работа в Интернет по возможности была максимально приятной и полезной, и Вы совершенно спокойно использовали широчайший спектр информации, инструментов и возможностей, которые предлагает Интернет.

Личная информация Заказчиков, собранная при регистрации (или в любое другое время) преимущественно используется для оказания услуг в соответствии с Вашими потребностями. Ваша информация не будет передана или продана третьим сторонам.

Какие данные собираются на сайте

При добровольной регистрации на нашем сайте, вы отправляете свои Имя, Фамилию, Отчество, Телефон и E-mail через форму регистрации.

На сайте мы вправе использовать технологию cookies. (cookies — служебная информация, посылаемая веб-сервером на компьютер пользователя, для сохранения в браузере. Применяется для сохранения данных, специфичных для данного пользователя, и используемых веб-сервером для различных целей). Cookies не содержат конфиденциальную информацию и не передаются третьим лицам. Вы можете удалить cookies-файлы после посещения сайта.

Мы получаем информацию об ip-адресе (уникальный идентификатор устройства, подключённого к локальной сети и/или сети Интернет, а также модели, версии операционной системы) посетителя Сайта. Сервисы Google собирают и обрабатывают данные о вашем фактическом местоположении. Данная информация не используется для установления личности посетителя. Можно запретить браузеру передавать подобную информацию путем изменения настроек.

С какой целью собираются эти данные

Данные собираются исключительно с Вашего согласия. Подписываясь на электронную рассылку новостей, вы даете свое согласие на обработку своих персональных данных, адреса электронной почты и телефона любым, не запрещенным законом способом, в целях получения информации о новостях и специальных предложениях, но не для передачи ваших персональных данных третьим лицам.

Имя используется для обращения лично к вам, а также для внесения его в Сертификат (в случае, если Вы проходите обучение на профессиональном тренинге), а ваш e-mail для отправки вам писем рассылок, новостей, полезных материалов, коммерческих предложений и т.п.

Ваши данные, телефон и e-mail не передаются третьим лицам, ни при каких условиях кроме случаев, связанных с исполнением требований законодательства.

Вы можете отказаться от получения писем рассылки и удалить из базы данных свои контактные данные в любой момент, написав в службу поддержки через форму обратной связи на сайте или по контактам, указанным на сайте

Как эти данные используются

На сайте shiko34. ru используются файлы cookies и данные о посетителях сервиса. При помощи этих данных собирается информация о действиях посетителей на сайте с целью улучшения его содержания, улучшения функциональных возможностей сайта и, как следствие, повышения удобства пользования сайтом для посетителей. Вы можете в любой момент изменить настройки своего браузера так, чтобы браузер блокировал все файлы cookies или оповещал об отправке этих файлов. Учтите при этом, что некоторые функции и сервисы не смогут работать должным образом.

С 2017 года начала работать функция ремаркетинга на различных устройствах. Это касается пользователей, которые включили в своих аккаунтах Google историю просмотра страниц, дали согласие на подбор рекламы, и были включены в списки для ремаркетинга на нескольких устройствах. Как и прежде, у пользователей Google есть возможность указать, какие объявления они хотят видеть, или совсем отказаться от рекламы.

Как эти данные защищаются

Настоящим, мы гарантируем конфиденциальность полученных персональных данных.

Для защиты Вашей личной информации мы используем административные, управленческие и технические меры безопасности. Мы придерживаемся международных стандартов контроля, направленных на операции с личной информацией, которые включают определенные меры контроля по защите информации, собранной в Интернет. Наших сотрудников обучают понимать и выполнять эти меры контроля, они ознакомлены с нашим Уведомлением о конфиденциальности, нормами и инструкциями.

Тем не менее, несмотря на то, что мы стремимся обезопасить Вашу личную информацию, Вы тоже должны принимать меры, чтобы защитить ее. Мы настоятельно рекомендуем Вам принимать все возможные меры предосторожности во время пребывания в Интернете. Организованные нами услуги и веб-сайты предусматривают меры по защите от утечки, несанкционированного использования и изменения информации, которую мы контролируем. Несмотря на то, что мы делаем все возможное, чтобы обеспечить целостность и безопасность своей сети и систем, мы не можем гарантировать, что наши меры безопасности предотвратят незаконный доступ к этой информации хакеров сторонних организаций.

В случае изменения данной политики конфиденциальности вы сможете прочитать об этих изменениях на этой странице или, в особых случаях, получить уведомление на свой e-mail.

Для связи с администратором сайта по любым вопросам вы можете обратиться по контактам, указанным на сайте shiko34.ru

Шаров Александр Владимирович

руководитель группы компаний ШИКО

shiko34.ru

Пленка ПВД полотно

      В нашем интернет магазине «Крепежный двор», Вы можете купить пленку ПВД прозрачную, выбрав любой ее тип:
1. Пленка ПВД рукав;
2. Пленка ПВД полотно.
   При выборе определенной продукции, следует учитывать, что ширина рукава при продольном разрезе увеличивается вдвое, а ширина полотна остается постоянной. Она широко применяется при строительных работах (для настила и покрыва различных поверхностей), в сельском хозяйстве (теплицы, парники), упаковке разнообразных блоков, агрегатов, механизмов. Не используют в пищевой и косметической отраслях.
   Наша вторичная пленка ПВД содержит минимальное количество мелких частиц песка и пыли, благодаря дополнительной мойке и и отжиму. Намотки с нашей пленкой всегда соответствуют заявленному метражу. Проверьте своего поставщика!

   Данная цена указана при покупке от 100 м.п.
   В ассортименте у нас представлена пленка ПВД разной толщины и ширины:

The University of Akron, Ohio

Комната 210a NPIC

История вопроса

Физическое осаждение из паровой фазы (PVD) представляет собой процесс осаждения тонкой пленки, при котором атомы или молекулы материала испаряются из твердого источника в высоком вакууме и конденсируются на подложка. Процессы PVD можно использовать для нанесения пленок из металлов, сплавов, оксидов металлов и некоторых композитных материалов на различные подложки. PVD используется для осаждения пленок толщиной от нескольких ангстрем до тысяч ангстрем. Типичные скорости осаждения PVD варьируются от 1 до 100 A/s. Процессы PVD имеют то преимущество, что почти любой неорганический материал может быть нанесен с использованием экологически чистых процессов осаждения. Пленки могут быть из одиночных материалов, слоев с градуированным составом, многослойных покрытий.

Наиболее распространенными процессами PVD являются:

• Термическое испарение — материал из нагретого источника испарения достигает подложки и конденсируется на ней
• Напыление — источником испаряемого материала является мишень, подвергаемая бомбардировке ионами аргона

Тонкие пленки составных материалов осаждаются путем непосредственного испарения составного материала или путем взаимодействия осаждаемого материала с окружающей газовой средой, такой как кислород или азот, или совместно осажденными частицами, такими как кремний. Пленки составных материалов, таких как нитрид титана, нитрид циркония, диоксид кремния, силицид вольфрама и т. д., могут быть успешно нанесены.

PVD имеет важные преимущества по сравнению с другими методами осаждения тонких пленок:
Покрытия PVD демонстрируют превосходную твердость, долговечность и износостойкость, а также более устойчивы к коррозии. Большинство покрытий PVD имеют высокую температуру и хорошую ударную вязкость; они обладают отличной стойкостью к истиранию. Возможность использования практически любого типа неорганического материала на разнообразной группе подложек и поверхностей делает PVD очень популярным выбором для изготовления тонких пленок. И последнее, но не менее важное: покрытия PVD могут наноситься без токсичных остатков или побочных продуктов и безопасны для окружающей среды

Области применения

Тонкопленочные покрытия для фотогальваники, полупроводниковых приборов, приборов зрения, медицинских исследований и приборов, исследований коррозии; просветляющие покрытия; исследования межфазных взаимодействий; высокопроизводительные аэрокосмические и автомобильные приложения; нанесение пленок на различные типы подложек, в том числе полимерные; металлические покрытия при подготовке образцов для анализа поверхности; подготовка серебряных и золотых подложек для поверхностно-усиленного комбинационного рассеяния (SERS)

Спецификации

Общие положения

• Резистивное термическое испарение для осаждения материалов с высокой температурой плавления и низким давлением паров
• Радиочастотное напыление для осаждения трудноиспаряемых металлов
• Прецизионный контроль толщины пленки с помощью кварцевых датчиков
• Усовершенствованный контроль многослойного осаждения на основе рецептуры
• Последовательное или совместное осаждение для создания четко определенных слоев и сплавов
• Высоковакуумная камера для очистки пленки
• Жалюзи и вкладыши обеспечивают чистоту

Вакуумная камера

• 16 дюймов Ш × 16 дюймов Г × 20 дюймов В алюминиевая высоковакуумная камера
• Один комплект съемных защитных экранов из нержавеющей стали
• Передняя дверца камеры на петлях для легкого доступа внутрь
• Базовое давление -7 торр в чистой системе
• Большое смещение окна просмотра для уменьшения отложения материала

Узел предметного столика с возможностью маскирования

• Прецизионные штифты для выравнивания подложки/маски
• Универсальный держатель подложек с резьбой диаметром 100 мм
• Вмещает образцы диаметром 100 мм. или диаметром 75 мм. или несколько образцов размером 10 мм x 40 мм
• Расстояние от источника до подложки зависит от конфигурации
• Возможность непрерывного вращения 0-50 об/мин

Затвор источника

• Автоматический пневматический затвор
• Использует высококачественную вращающуюся заслонку подложки с магнитной жидкостью

Система рециркуляционного охлаждения ThermoChill 1

• Охлаждение 700 Вт, расход 1,4 галлона в минуту
• Используется для стабилизации кварцевого датчика
• Используется для охлаждения источника распыления

Турбонасосный агрегат Pfeiffer Vacuum 685 л/с

• Встроенный турбомолекулярный насос Hi-Pace 700
• Минимальная занимаемая площадь и максимальная надежность
• Высокая производительность по газу и высокая скорость откачки
• Комплект для измерения вакуумметрического давления Inficon MPG 400

Сухой насос Agilent TriScroll 9 куб. футов в минуту

• Трансформатор 2500 ВА
• Масштабируемое выходное напряжение до 10 В обеспечивает широкий диапазон напряжений без необходимости замены сильноточных кабелей на трансформаторе

Контроль скорости осаждения и толщины пленки на базе ПК

• Программное обеспечение на базе Windows для ПК для контроля осаждения
• Позволяет легко создавать, хранить и редактировать рецепты
• Параметры настройки пленки и данные о нанесении сохраняются на жесткий диск компьютера
• Обеспечивает последовательное и совместное осаждение пленок с полностью автоматизированным контролем рецептуры

Усовершенствованный контроль давления газа на выходе Nexdep

• Стабилизация давления с программным управлением на основе рецептов
• 2 регулятора массового расхода MKS M100B 20 см3/мин обеспечивают точное смешивание газов
• Емкостной мембранный манометр Inficon SKY (1-100 мТорр)

Датчик скорости осаждения QCM

• Датчик крепится к жесткому кронштейну для предотвращения потери калибровки при случайном перемещении
• Датчик с водяным охлаждением для повышения точности показаний

System Control

• Станция управления ПК с Windows 7 Professional
• SCADA на базе Windows — программное обеспечение интерфейса управления ПЛК
• Управление системой в автоматическом и ручном режимах
• Состояние и оповещения системы безопасности работы блокировки
• Различные авторизации безопасности программы учетной записи пользователя

Что такое PVD? Процессы и материалы покрытия

О меню

Автор: Эндрю Коэн, менеджер по продукции, Materion Electronic Materials  

ПРОЦЕССЫ PVD И МАТЕРИАЛЫ ДЛЯ ПОКРЫТИЯ

Осаждение тонкопленочных слоев из паровой фазы осуществляется несколькими способами. Мы рассматриваем методы и оборудование физического осаждения из паровой фазы (PVD), которые широко используются в крупносерийном производстве покрытий, которые находят применение в оптической, дисплейной, декоративной, трибологической и энергогенерирующей/сберегающей отраслях. Многочисленные процессы PVD и материалы покрытия были разработаны и оптимизированы для конкретных применений. Материалы покрытий классифицируются как диэлектрические соединения, металлы, сплавы или смеси. Один и тот же материал может проявлять разные оптические, электрические и механические свойства в зависимости от процесса осаждения.

Оксид титана является уникальным примером соединения оксида металла, который, в зависимости от параметров процесса осаждения, может быть превращен в пленочные слои, которые являются: прозрачными, электропроводящими, химически реагирующими на свет и биологические агенты, химически инертными или проявляющими спектрально-селективное поглощение . Зависимыми параметрами являются исходный состав, степень окисления, кристаллическая структура и плотность упаковки. В основном в производстве используются две технологии PVD:

• Термическое испарение резистивным нагревом или с использованием электронно-лучевого нагрева
• Напыление, нетермический процесс

В основные методы PVD внесены изменения и дополнения, позволяющие использовать различные материалы покрытия и типы подложек. Технологические добавки, предназначенные для изменения роста, наноструктуры или состава пленки путем контроля перечисленных выше зависимых переменных, включают бомбардировку растущей пленки высокоэнергетическими инертными и/или реактивными ионами, нагрев подложки, состав атмосферы и парциальное давление, скорость и угол падения паров. Еще один важный переменный вклад в зародышеобразование и самособирающуюся структуру роста конденсирующихся адатомов, который мы часто обсуждали, — это состояние — как химическое, так и физическое — поверхности подложки.

Процессы испарения

Источники с резистивным нагревом (RH) состоят из металлических контейнеров, которые могут быть открытыми и иметь форму лодки или закрытыми, например, с перегородкой и выходным отверстием. Тип используемого источника и его металл (или облицовка поверхности) зависят от того, плавится ли материал при нагревании или возгоняется. Для формирования источников используются тугоплавкие металлы (Ta, Mo, W) и керамические или графитовые тигли. Поскольку большинство соединений фтора плавятся, часто используют открытую емкость, а испарение происходит с большой площади расплава. Если материал возгоняется, как и сульфидные и селенидные соединения, а также некоторые оксидные соединения, используется коробчатый источник с перегородками, из которого выбрасывается пар.

Материалы, для испарения которых требуется высокая температура (>~1000°C), такие как тугоплавкие оксидные соединения и тугоплавкие металлы, требуют более высокой температуры источника сфокусированного электронного луча (E-B). Почти любой материал, который можно испарить с помощью RH, можно испарить с помощью E-B; однако мощность (высокое напряжение) должна быть снижена, например, для соединений фтора, чтобы предотвратить диссоциацию. Такие металлы, как алюминий, золото и медь, имеют более низкую температуру испарения, чем диэлектрики, и обычно используется относительная влажность. Оксидные и нитридные соединения обычно требуют присутствия реактивной атмосферы для восстановления соединения или установления правильного состава пленки. Парциальное давление соответствующего газа, осаждение с соответствующей скоростью и температура подложки — все это влияет на состав пленки.

Процесс физического осаждения из паровой фазы (PVD)

PVD — это процесс прямой видимости, при котором профиль потока пара представляет собой приблизительно косинусное распределение при условии, что длина свободного пробега (MFP) молекул испаряющегося вещества больше, чем глубина рассеяния остаточной атмосферы. При давлении 1 е-05 Торр (0,01 Па) МДП составляет 1 м. Расстояние между подложкой и источником должно быть меньше, чем MFP, чтобы предотвратить потерю скорости из-за чрезмерного рассеяния фоном резидентного газа. Для достижения однородной толщины покрытия на большой площади подложки необходимо учитывать особые геометрические особенности. Субстраты обычно находятся в движении через распределение шлейфа, чтобы обеспечить случайную выборку времени и площади. Инструмент для подложки может вращаться в планетарном движении для повышения плотности пленки. Для точной настройки однородности толщины могут быть добавлены различные формы окклюзионной маскировки. Мониторинг толщины можно проводить косвенно с помощью кварцевого генератора или непосредственно с помощью оптического монитора. Теперь доступны системы покрытия, которые могут автоматически выполнять дизайн многослойного покрытия и контролировать толщину отдельных слоев в соответствии с запрограммированным дизайном.

Источник IAD и дополнительные формы PVD

Ионизация кислорода парциального давления или испаряющихся частиц, производимых в энергичной плазме или с использованием источника ионов для ионно-стимулированного осаждения (IAD), обеспечивает более высокие энергии. Источник IAD ионизирует и ускоряет ионы аргона и кислорода по направлению к подложкам. Активный кислород дополняет оксидное соединение, а энергичные ионы Ar+ уплотняют растущую пленку, увеличивая плотность ее упаковки. Энергии ионов в сотни эВ возможны с источниками IAD. В некоторых процессах подложка или ее держатель могут иметь смещение по отношению к источнику, достигающему той же цели, но при более низких энергиях.

Другие формы PVD для оптических применений включают импульсное лазерное осаждение (PLD) и атомно-слоевое осаждение (ALD). PLD имеет преимущество сохранения состава исходного материала для большого разнообразия составов. Он не нашел применения в крупносерийном производстве из-за малой площади покрытия и дорогих лазерных аксессуаров. ALD основан не на испарении, а на химической реакции исходных газов при температуре 200°C или выше. Его преимущества заключаются в получении плотных пленок, стабильного воспроизводимого состава и предсказуемой толщины без необходимости мониторинга в реальном времени.

Напыление

Процессы испарения основаны на испарении материала путем его нагревания выше температуры его плавления или сублимации. При напылении атомы материалов смещаются ударом ионов, атомов или других частиц, которые создаются в энергичной плазме, когда кинетическая энергия этих частиц превышает энергию связи поверхности мишени. Базовый метод распыления представляет собой диод с плазменным разрядом между анодом и катодом. На рис. 1 показаны основные конфигурации методов напыления. Материал катодной мишени может иметь практически любой состав, например, изоляторы, металлы и сплавы, и его можно напылять для осаждения твердых тонких пленок заданного состава. Оксиды и нитриды могут быть реактивно распылены из металлических мишеней, как правило, с использованием плазмы постоянного тока. Мишени, состоящие из диэлектриков, керамики и мишеней с низкой электропроводностью, напыляются с использованием плазменных вариаций, включая РЧ-распыление. Обычно рабочим газом является аргон, а в конечный состав напыленной пленки добавляется реактивный газ.

Рисунок 1. Конфигурация распыления базовой техники.

Добавление концентрированных магнитных полей вблизи мишени увеличивает скорость и распределение осаждения (магнетронное распыление) за счет увеличения плотности плазмы и плотности мощности на поверхности мишени. Энергии составляют 1-10 эВ для классического напыления, что примерно в 10 раз больше, чем энергии R-H или E-B. Полезным последствием является то, что напыленные пленки более плотные, чем напыленные; отрицательным является более высокое напряжение сжатия, которое для некоторых применений необходимо уменьшить за счет оптимизации процесса. Сплавы материалов можно распылять с сохранением исходного состава, если только коэффициенты распыления двух материалов существенно не отличаются друг от друга. Несмотря на такие различия, мишень можно настроить для контроля состава осаждаемой пленки.

Скорость напыления

В последнее время импульсная мощность высокой и средней частоты используется для создания высоких скоростей распыления, а двойные магнетроны были сконфигурированы для смешивания двух разных материалов для создания пленок с совершенно новыми свойствами. В качестве альтернативы, в методе ионно-лучевого распыления (IBS) удаленный источник, производящий ионы с энергиями в сотни единиц, направляется на цель. Энергия и масса сталкивающихся частиц определяют, сколько атомов мишени распыляется. Поскольку процесс напыления очень повторяем, контроль толщины осуществляется за счет контроля мощности и времени осаждения. При распылении мишеней, реагирующих с кислородом или азотом, большая стабильность скорости и состава достигается за счет использования регулятора оптической эмиссии, который поддерживает выбранную степень окисления, на что указывает интенсивность его линейной эмиссии.

Давление в камере напыления на три порядка выше, чем при испарении, следовательно, рассеяние из-за столкновений очень велико, а расстояние между мишенью и подложкой уменьшено до нескольких сантиметров. Благоприятным последствием разброса при высоких давлениях является то, что распределение легче привести в соответствие с неплоскими формами. Обсуждения, содержащие более подробную информацию о многих аспектах процессов напыления, появлялись в предыдущих выпусках новостей о материалах для покрытий.