Большая Энциклопедия Нефти и Газа. Металлическая пленка

Металлические пленки

параметров (напряжение и ток разряда являются второстепенными), так как скорость осаждения пленки обычно пропорциональна мощности разряда. Это объясняется тем, скорость осаждения пропорциональна числу атомов, распыленных с поверхности мишени в единицу времени. Число таких атомов равно произведению коэффициента распыления на величину тока разряда . Ве-

личина коэффициента распыления зависит от энергии налетающих ионов – в диапазоне энергий от сотенэлектрон-вольтдо десятковкилоэлектрон-вольтнаблюдается увеличение коэффициента распыления с ростом энергии налетающих частиц[7]. В магнетронном разряде энергия ионов, падающих на мишень,равна примерно = 0, 73 , где – напряжение разряда[31]. Поэтому коэффициент распыления в магнетронных системах является функцией напряжения разряда. В определенном диапазоне энергий можно считать, что коэффициент распыления линейно зависит от энергии налетающих ионов и, соответственно, от напряжения разряда. Поэтому скорость осаждения оказывается пропорциональной мощности разряда( ) .

Задачей данной работы является создание тонких защитных покрытий, поэтому было решено, что толщина получаемых пленок не должна превышать

500нм.

Впервой серии экспериментов были получены покрытия из меди при трех значениях температуры нагревателя – при 300 C,400 C и500 C. Осаждение

было произведено при трех разных температурах подложки с целью тестирования нагревателя подложки, изучения влияния нагрева подложки на работу системы и на свойства получаемых покрытий. Параметры осаждения были следующими: мощность разряда 300 Вт, напряжение разряда 454 В, время горения 15 мин.

Во второй серии экспериментов были получены покрытия из хрома при температуре нагревателя 500 C. Согласно данным производителя установки, соот-

ношение коэффициентов распыления (и, соответственно, скоростей осаждения) хрома и меди при одинаковых условиях осаждения равно 0,65. Поэтому для получения хромовых покрытий с толщиной, примерно равной толщине медных покрытий, использовались следующие параметры осаждения: мощность разряда 300 Вт, напряжение разряда 291 В, время горения 30 мин.

В третьей серии экспериментов были получены покрытия из титана при температурах нагревателя 500 C и600 C. При температуре нагревателя700 C

уже наблюдалось размягчение образцов, поэтому температура 600 C является максимальной температурой нагревателя, при которой возможно нанесение по-

studfiles.net

Тонкая металлическая пленка - Большая Энциклопедия Нефти и Газа, статья, страница 3

Тонкая металлическая пленка

Cтраница 3

У очень тонких слоев или тонких металлических пленок ( толщина примерно равна длине волны) отражательная способность заметно возрастает, что вызвано уменьшением коэффициента поглощения. Как следствие, они становятся прозрачными при гораздо больших значениях толщины, чем можно было бы ожидать, учитывая их коэффициент поглощения. [32]

На электрические и физические свойства тонких металлических пленок большое влияние оказывают всевозможные загрязнения, вызванные недостаточной чистотой используемых материалов, химическими реакциями в процессе нанесения тонких пленок, физической сорбцией свеженанесенных слоев и пр. [33]

Использование в качестве проводящих слоев тонких металлических пленок, образованных на поверхности изоляционной детали, позволяют получить резисторы с широким диапазоном значений сопротивлений. Стоимость таких резисторов значительно ниже стоимости резисторов, изготовленных из провода малого сечения. [34]

Кроме размерного эффекта на проводимость сплошной тонкой металлической пленки влияет также рассеяние электронов на всевозможных дефектах структуры, включая примеси, границы микрокристаллитов и пр. [35]

С помощью современных болометров, представляющих тонкие металлические пленки, нанесенные на изоляционную подложку, можно фиксировать изменение температур До 10 - 7 С и обнаруживать лучистые потоки до Ю-10 вт вплоть до субмиллиметровых волн. Работает болометр обычно в мостовой схеме, питаемой постоянным или переменным током. [36]

Учитывая, что материал подложки и тонкая металлическая пленка выдерживают значительные нормальные давления, деформацией пленочной контактной площадки можно пренебречь. [37]

Линзы из фольги, состоящие из тонкой металлической пленки, прозрачные для частиц и обеспечивающие разрывы в распределении поля. [38]

Изучено влияние структуры и физико-химических свойств тонких металлических пленок, нанесенных на неметаллические материалы, на смачиваемость расплавами металлов. Полученные величины критических толщин смачивания объяснены в зависимости от структуры пленки, ее взаимодействия с подложкой, температуры опыта и ряда др. факторов. [39]

Сейчас имеются доказательства существования плазмонов в тонких металлических пленках по спектрам характеристических потерь энергий электронов. Что касается атомных плазмонов, то в литературе до сих пор не утихают споры о их существовании. Нет теории, которая бы удовлетворительно описала все особенности экспериментальных спектров, правда, часть теоретиков считает, что точность расчетов достаточна, но требуется более тщательный эксперимент. [40]

Другой поглощающий элемент для болометров состоит из тонкой металлической пленки, укрепленной на диэлектрике. Как и ранее, необходимо принять меры, чтобы условия нагрева токами высокой и низкой частоты были эквивалентными. В энтракометре Колларда [67] для частоты 9 5 Ггц пленка имеет структуру сетки и занимает участок боковой стенки волновода, при этом поглощается только часть передаваемой мощности. В более поздних моделях резистив-ная пленка располагается поперек волновода и обладает такой величиной поверхностного сопротивления, что падающая мощность поглощается полностью с незначительным отражением. Были разработаны модели для частотных диапазонов 11 5 - 18 0 Ггц, 18 0 - 26 5 Ггц и 26 5 - 40 Ггц с пределами измерения мощности от 1 до 100 мет. На частотах 4 и 7 Ггц имеются энтракометры для измерения мощностей порядка 1 вт. [41]

Зурманом [62-65] были разработаны методы измерения электропроводности тонких металлических пленок во время хемосорбции ряда простых адсорбатов, в том числе воды. Электропроводность металлической пленки будет изменять - ся во время акта хемосорбции или десорбции, если электроны молекул адсорбата принимают участие в электронной проводимости самого металла или электроны проводимости металла входят в состав электронных оболочек молекул адсорбата. [42]

Подобная оценка была сделана по отношению к тонким металлическим пленкам, прилипшим к полимерным материалам. При отрыве металлической пленки от подложки ей сообщается электрический заряд. [43]

Современная теория физических процессов, развивающихся в тонких металлических пленках, в ряде случаев позволяет объяснить влияние адсорбированных частиц на электрофизические свойства тонких пленок. Изменение состояния поверхности металлической пленки при адсорбции на ней молекул адсорбата может существенно влиять на ее электропроводность. Так, если адсорбция сопровождается обменом электронами между адсорбированной частицей и металлом, может измениться концентрация электронов в зоне проводимости металла и, следовательно, электропроводность пленки. [44]

В работе [23] достаточно полно рассматриваются методы получения тонких металлических пленок, а работа [19] посвящена свойствам этих пленок, поэтому в нашем обзоре будет приведено только несколько характерных методик. [45]

Страницы: 1 2 3 4 5

www.ngpedia.ru

Тонкая металлическая пленка - Большая Энциклопедия Нефти и Газа, статья, страница 1

Тонкая металлическая пленка

Cтраница 1

Тонкая металлическая пленка при этом следует за тепловым расширением керамики и связана с диском тонким слоем глазури. Наружные части металлической пленки могут быть утолщены и спаяны с толстой металлической трубкой. Подобные впаи выдерживают токи порядка нескольких сотен ампер. Максимальная величина тока, пропускаемого таким внаем, численно равна удвоенной величине диаметра впая в миллиметрах. [2]

Тонкие металлические пленки очень удобно получать путем напыления в высоком вакууме на подложку, обеспечивающую эпитаксиальный рост. Таким путем были получены тонкие пленки золота и серебра. [3]

Тонкие металлические пленки, наносимые на изоляторы, обусловливают поверхностную электрическую проводимость. Пленки придают кинолентам необходимые эластичные и другие свойства. [5]

Тонкие металлические пленки серебра и щелочных металлов могут служить для выделения разных участков в ультрафиолетовой области спектра. [7]

Поскольку тонкие металлические пленки применяют для изготовления резисторов, то для них важным параметром является температурный коэффициент сопротивления - ТКС. Этот параметр определяется для стабильных пленок, прошедших термообработку. Экспериментально установлено, что ТКС зависит от толщины пленки; для тонких пленок он меньше, чем для толстых, и у пленок он меньше, чем у тех же объемных материалов. У некоторых тонких пленок ТКС становится даже отрицательным. [8]

Для тонких металлических пленок, получаемых методом испарения в вакууме, произведение удельного сопротивления Q на плотность у - величина постоянная. [9]

Прочность тонких металлических пленок определяется по их сопротивлению механическим воздействиям. [10]

Резка тонких металлических пленок и слоев излучением СО2 - лазера имеет свои специфические особенности. Во-первых, она может производиться и без поддува кислорода; во-вторых, здесь сильнее, чем при резке толстых листовых материалов, сказывается охлаждающее действие струи. [12]

Пайку тонких металлических пленок ведут в основном по методу, описанному для неметаллов. Большую роль играет контроль температуры. При пайке пленок некоторых металлов, например серебра, припой должен содержать 5 - 10 % этого металла, чтобы избежать растворения пленки. Получаемые соединения обладают превосходными механическими и электротехническими свойствами. Следует также указать, что индий дает хорошее сцепление с металлическими пленками, нанесенными на неметаллические подложки трением, а также полученными осаждением из паров, набрызгиванием или электроплакированием. Хорошо смачиваются пленки алюминия, осажденные из паров. Вообще говоря, все исследованные до сих пор металлические пленки смачиваются хорошо. Пленки некоторых металлов, например алюминия, требуют несколько более высокой температуры паяльника ( 105 в), чем в случае золота или серебра. [13]

Для нанесения тонких металлических пленок методом катодного распыления используется явление разрушения катода в результате его бомбардировки ионизированными молекулами разреженного газа. [15]

Страницы: 1 2 3 4 5

www.ngpedia.ru

Толщина - металлическая пленка - Большая Энциклопедия Нефти и Газа, статья, страница 2

Толщина - металлическая пленка

Cтраница 2

При этом толщина металлической пленки, рассчитанная по методу [14], составляла 3 - 8 мкм для зернистостей от 100 до 250 мкм и 13 - 16 мкм для зернистостей 400 - 500 мкм. При этом упрочнение возрастает с увеличением количества нанесенного металла. Однако здесь наблюдается ( см. рис. 1, 2) определенное насыщение значений прочности металлизированных алмазных зерен. Это, по-видимому, связано с тем, что такое количество металла ( 20 - 25 об. %) достаточно для заполнения и цементирования большинства дефектов структуры алмазных зерен и - покрытия их пленкой, дальнейшее увеличение толщины слоя металла уже менее эффективно. [17]

Ток соизмеримо с глубиной проникновения электрического поля в ОК. Это указывает на принципиальную возможность оценки с помощью электропотенциального метода толщины металлических пленок, листового материала, металлических покрытий. Причем данный метод контроля реализуется при одностороннем доступе к ОК. [19]

Для обеспечения стабильности параметров и хорошей воспроизводимости требуемых результатов большое значение имеет контроль параметров пленок в процессе напыления. Разработаны различные методы контроля [56], основанные на измерении толщины пленок в процессе напыления, которые, однако, страдают общим недостатком - не учитывают отличие свойств тонких пленок от свойств аналогичного массивного материала. Установлено, что с изменением толщины металлической пленки изменяется ее плотность, а следовательно, и удельное сопротивление образца. [21]

Внутренняя поверхность втулки и наружная - стержня покрыты тонкой металлической пленкой. На внутренней поверхности втулки нарезается четырехзаходная резьба с шириной нитки 2 6 мм, а на наружной поверхности стержня - трехзаходная с такой же шириной нитки. Резьба прорезается на глубину, несколько превышающую толщину металлической пленки. Концы образованных таким путем винтовых проводников соединяются во втулке так, чтобы получить две бифилярные обмотки. На эти обмотки, аналогично тому, как это делается в Индук-тосине, подаются напряжения: одно пропорциональное синусу, второе - косинусу. Из трех обмоток стержня средняя заземляется. Как и в ранее описанных устройствах, перемещением салазок вместе со стержнем в обмотках последнего наводятся синусоидальные напряжения, сдвинутые в двух крайних обмотках по фазе. Выходной сигнал, возникающий в результате сопоставления напряжений крайних обмоток, характеризует точное перемещение. [22]

Параметры транзисторов с изолированным затвором в сильной степени определяются геометрическими размерами. Уменьшение толщины диэлектрика w приводит к снижению U0 и увеличению / с, S и емкости затвора. Толщину диэлектрика выбирают порядка 0 1 - 0 15 мкм, толщину металлической пленки затвора-0 2 - 0 5 мкм, длину канала 5 - 10 мкм, а ширину канала 100 - 1 000 мкм. [23]

Эти контакты должны быть изготовлены предварительно или отдельным осаждением металлической пленки, или нанесением металлической пасты с последующим ее вжиганием. К датчику подсоединяется пара металлических зондов для снятия зависимости тока от напряжения внутри вакуумной системы. Однако, несмотря на легкость измерения, такой метод измерения и контроля толщины металлических пленок имеет свои недостатки. Они связаны с тем, что при начальных стадиях роста пленка состоит из зародышей и плохо связанных металлических островков ( см. гл. Даже когда пленка становится сплошной, она имеет область толщин, где наблюдается изменение удельного сопротивления вследствие уменьшения поверхностного рассеяния электронов ( см. гл. Более того, при осаждении первых нескольких сотен ангстрем зависимость сопротивления пленки от толщины подвержена влиянию величины приложенного электрического поля ( см. рис. 18 гл. Однако эта величина в значительной мере зависит от давления остаточных газов, скорости осаждения и температуры подложки. Поэтому значения толщин пленок, полученные из измерений сопротивления, редко бывают точными. Учитывая эти неопределенности, метод измерения сопротивления используют главным образом для контроля и управления процессом производства пленочных резисторов. В этом случае толщина пленки и постоянство удельного сопротивления имеют второстепенное значение. При фиксированном отношении l / w для данного датчика по измерениям тока и напряжения может быть определено поверхностное сопротивление, и необходимая величина Rs может быть получена безотносительно к изменению р в пленке, поскольку эти изменения можно компенсировать за счет ее толщины. В простейшем виде сопротивление пленки вызывает разбаланс моста и регистрируется самописцем. Когда сопротивление достигает заданной величины, мост балансируется и включается питание соленоида, управляющего заслонкой. Поскольку в процессе осаждения сопротивление датчика уменьшается на много порядков, то соответственно меняется и чувствительность мостовой схемы. Для устранения этого недостатка Беннет и Фланаган [332] использовали в плече сравнения переменное сопротивление, величина которого автоматически уменьшалась ступенями при переходе через точку баланса. [24]

Однако Датта и Хунзингер [501] показали, что существует дополнительный член второго порядка, пропорциональный ( А / Я) а и определяющий запасенную энергию. Для алюминиевых электродов на подложке из кварца ST, Х - среза он оказывается больше, чем член первого порядка. Эксперименты показали, что на центральной частоте 337 МГц у преобразователя с расщепленными электродами при толщине металлической пленки 0 09 мкм изменение скорости составило 0 24 %; данная цифра хорошо совпадает с результатом расчета. [25]

Страницы: 1 2

www.ngpedia.ru

Тонкая металлическая пленка - Большая Энциклопедия Нефти и Газа, статья, страница 2

Тонкая металлическая пленка

Cтраница 2

ТКС - тонкой металлической пленки ал, / получают из ТКС металла ав введением корректирующего члена, включающего коэффициент термического расширения пленки а / и подложки аа. Так как тонкие пленки обнаруживают тенденцию иметь малые температурные коэффициенты сопротивления, то корректирующий член часто бывает значительным. [16]

Удельное сопротивление тонких металлических пленок ( толщина которых соизмерима с длиной свободного пробега электрона) больше удельного сопротивления исходного металла и зависит от толщины и способа получения пленок. [17]

Механизм действия тонких металлических пленок, нанесенных на твердое основание, по Ф. П. Боудену таков: нагрузка воспринимается через пленку, которая, обладая достаточной прочностью против выдавливания, предохраняет трущиеся поверхности от непосредственного контактирования и взаимного внедрения. При относительном перемещении поверхностей происходит срез в мягком металле. Поскольку сопротивление срезу невелико, а площадь фактического контакта благодаря твердой подкладке мала, то и сопротивление трению также мало. Пленка, нанесенная на мягкую подкладку, значительно деформирующаяся под нагрузкой, вступает в контакт с сопряженной поверхностью на большей площади, что увеличивает силу трения. Поэтому нанесение пленок мягких металлов, к примеру, на оловянный баббит неэффективно; более целесообразно применять их на свинцовистой бронзе и на медных сплавах. [19]

Пусть на тонкую металлическую пленку, показанную на рис. 10.8, слева падает поток электро-нюв / эл - При перемещении внутри пленки часть электронов будет испытывать рассеяние и из пленки не выйдет. [21]

Затвор представляет собой тонкую металлическую пленку, нанесенную на предварительно выращенный слой двуокиси кремния, играющей роль диэлектрика. [22]

Джордж Томсон использовал тонкие металлические пленки кристаллической формы. Благодаря тому, что атомы в кристаллах выстроены в параллельные ряды, они могут выполнять функцию дифракционной решетки, которую получить искусственным путем необычайно сложно. [23]

В отношении изучения тонких металлических пленок многое уже сделано. [24]

Измерение оптических плотностей тонких металлических пленок показывает, что толщину этих пленок можно определить с точностью примерно до двух атомарных слоев. [25]

Преимуществом экранов с тонкой металлической пленкой является не только нейтрализация влияния предельного потенциала люминофора, но и увеличение светоотдачи за счет отражения от этой пленки излучения, направленного внутрь трубки. Некоторая потеря светоотдачи за счет частичной потери энергии электронов в металлической пленке компенсируется увеличением ее за счет отражения излучения от пленки. [26]

Требования к межсоединениям из тонких металлических пленок могут быть сформулированы следующим образом. [27]

Метод вакуумного напыления позволяет получать тонкие металлические пленки с чередованием слоев нескольких металлов различной толщины и очертаний. При этом различные тонкие металлические пленки получают на одной и той же установке. [29]

В последнее время стали применяться тонкие металлические пленки, нанесенные на стеклянное или керамическое основание, а также полупроводниковые термосопротивления в виде бусинок. [30]

Страницы: 1 2 3 4 5

www.ngpedia.ru

металлическая плёнка — с русского на немецкий

См. также в других словарях:

металлическая плёнка — metalinė plėvelė statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. metal film vok. Metallfilm, m; Metallschicht, f rus. металлическая плёнка, f pranc. film métallique, m … Radioelektronikos terminų žodynas
Полукоро́нка — металлическая несъемная часть зубного протеза, покрывающая зуб с небной (язычной) поверхности, оставляя открытой зубную (щечную) сторону; используется как опора мостовидного протеза, а также при шинировании передних зубов … Медицинская энциклопедия
Плёнка типа 135 — У этого термина существуют и другие значения, см. Плёнка … Википедия
ГРЕБЁНКА — ГРЕБЁНКА, гребёнки, жен. 1. Продолговатая пластинка из рога, кости, целулоида (реже металлическая, деревянная), с частым рядом зубьев с одной стороны, служащая для расчесывания волос. Расчесать волосы гребенкой. || Такая же пластинка (обычно… … Толковый словарь Ушакова
пла́нка — и, род. мн. нок, дат. нкам, ж. Небольшая продолговатая, гладко обстроганная дощечка или металлическая пластинка. Сняв с краев ее [грифельной доски] боковые планки, он хотел обратить их в щепы. Помяловский, Очерки бурсы. [Любка] села верхом на… … Малый академический словарь
Шотки диод — Шоттки диод, диод с барьером Шотки, Полупроводниковый диод, выполненный на основе контакта металл полупроводник; назван в честь немецкого учёного В. Шотки, создавшего в 1938 39 основы теории таких диодов. При изготовлении Ш. д. на… … Большая советская энциклопедия
гальваническое покрытие — металлическая плёнка (толщиной от долей мкм до десятых долей мм), наносимая на поверхность металлических и других изделий (в защитных, декоративных и других целях) методом электролитического осаждения (гальваностегия). * * * ГАЛЬВАНИЧЕСКОЕ… … Энциклопедический словарь
Планарная технология — планарный процесс (англ. planar, от лат. planus плоский, ровный), первоначально совокупность технологических операций, проводимых для получения полупроводниковых (ПП) приборов с электронно дырочными переходами (См. Электронно дырочный… … Большая советская энциклопедия
Диод Шоттки — У этого термина существуют и другие значения, см. Диод (значения). Условное обозначение диода Шоттки НЕ по ГОСТ 2 … Википедия
гальванический — ая, ое. 1. Связанный с получением электрического тока путем химических реакций. Г. элемент. Г ая батарея. Г. ток (устар.; постоянный электрический ток). 2. Связанный с гальванотехникой. Г ие ванны. Г. цех. Г ое покрытие (металлическая плёнка,… … Энциклопедический словарь
гальванический — ая, ое. 1) Связанный с получением электрического тока путем химических реакций. Гальвани/ческий элемент. Г ая батарея. Гальвани/ческий ток (устар.; постоянный электрический ток) 2) Связанный с гальванотехникой. Г ие ванны. Гальвани/ческий цех … Словарь многих выражений

translate.academic.ru

Тонкая металлическая пленка - Большая Энциклопедия Нефти и Газа, статья, страница 4

Тонкая металлическая пленка

Cтраница 4

Структура, а следовательно, и физические свойства тонких металлических пленок, полученных одним из рассмотренных выше методов, в большинстве случаев существенно отличаются от структуры и физических свойств одинаковых по названию массивных металлов. [46]

Возможность обнаружения окисла зависит также от соотношения толщин тонкой металлической пленки и образовавшегося слоя окисла. Если толщина слоя окисла будет значительно меньше толщины тонкой металлической пленки, то обнаружение слоя окисла оптическим методом будет практически невозможным. Для решения поставленной задачи толщина слоя окисла должна быть, по крайней мере, одного порядка с толщиной тонкой металлической пленкио. Последнее возможно для пленок, имеющих толщину порядка 150 А и меньше. [47]

Хорошо установлен тот факт, что электрические свойства тонких металлических пленок очень сильно отличаются от свойств массивных металлов. [48]

Электрические переходы металл - полупроводник формируются вакуумным напылением тонкой металлической пленки на тщательно очищенную поверхность полупроводника. [49]

Совершенно такая же картина получается, если через тонкую металлическую пленку пропускать пучок электронов: рассеянные электроны дают на фотографической пластинке систему интерференционных колец. [51]

Испаряющийся металл осаждается на поверхности деталей, образуя тонкую металлическую пленку. [52]

Для покрытия пластмасс, стекол и других материалов тонкими металлическими пленками и вакуумной очистки металлов используется метод вакуумного испарения. В качестве материалов нагревательных элементов нашли применение графит, карбиды и бориды тугоплавких металлов. В некоторых случаях нагреватели изготавливаются из карбида титана, который хорошо удовлетворяет требованиям к материалам нагревательных элементов: хорошая электропроводность, коррозион-но - и окалиностойкость, механическая прочность и сопротивление термоудару, нерастворимость в расплавленном металле и смачиваемость им. [53]

Первое экспериментальное подтверждение этих теорий было получено на тонких металлических пленках. В работе [414] в тонких пленках сплава золото - палладий был обнаружен логарифмический рост сопротивления с понижением температуры. [56]

Чистые, специально обезгаженные металлы ( в том числе тонкие металлические пленки, нанесенные на стекло), каталитически совершенно неактивны по отношению к гидрированию этилена в присутствии никеля, меди, железа, платины, палладия и вольфрама. Пленки тех же металлов с точно дозированным количеством газовой примеси своеобразно изменяют каталитическую активность: в зависимости от содержания захваченной примеси ( рис. 21) активность пленок проходит через резкий максимум. [58]

Исследование вопросов, связанных с прохождением горячих электронов через тонкие металлические пленки, привлекает все большее внимание в связи с возможностью разработки на этой основе активных пленочных элементов. [59]

В пленарных структурах микросхем внутрисхемные соединения выполняют с помощью тонких металлических пленок, наносимых на изолирующий слой двуокиси кремния. Процесс создания внутрисхемных соединений называется металлизацией. Тонкая металлическая пленка, которая используется в качестве проводников внутрисхемной коммутации, должна обладать следующими свойствами: обеспечивать невьщрямляющий контакт с полупроводником, иметь хорошую адгезию с кремнием и двуокисью кремния и низкое удельное сопротивление, давать возможность присоединения выводов микросхемы. [60]

Страницы: 1 2 3 4 5